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1. Evatec
Evatec Process Systems (CH) Wafer Handling: Dieses roboterbasierte Handlingmodul ergänzt das flexible Sputter-System LLS EVO II von Evatec durch eine vollautomatische Beschickung mit Wafern direkt aus ...
2. Evatec
Evatec Process Systems (CH) SDS 231 Wafer Handling: Für die flexible Cassette-to-Cassette Beschickung eines SDS 231 Sputtersystems wurde dieses Doppelroboter-Handling entwickelt. Es erlaubt die gemischte ...
3. <span class="highlight">-Tooldesign-</span>
-Tooldesign-
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