Evatec Process Systems (CH)
Wafer Handling:
Dieses roboterbasierte Handlingmodul ergänzt das flexible Sputter-System LLS EVO II von Evatec durch eine vollautomatische Beschickung mit Wafern direkt aus der Kassette. Es ist für unterschiedliche Wafergrößen bis zu 8 Zoll erhältlich und bietet verschiedene Optionen, wie etwa Wafer-Maskierung, Flat- / Notch Ausrichtung oder Barcode-Leser.
Merkmale:
- Vollautomatische Beschickung aus der Kassette heraus
- Roboter der Reinraumklasse 10
- Sehr kleiner Footprint
PDF: Produktbeschreibung LLS EVO 2
