Evatec
Evatec Process Systems (CH)
Wafer Handling:
Dieses roboterbasierte Handlingmodul ergänzt das flexible Sputter-System LLS EVO II von Evatec durch eine vollautomatische Beschickung mit Wafern direkt aus der Kassette. Es ist für unterschiedliche Wafergrößen bis zu 8 Zoll erhältlich und bietet verschiedene Optionen, wie etwa Wafer-Maskierung, Flat- / Notch Ausrichtung oder Barcode-Leser.
Merkmale:
- Vollautomatische Beschickung aus der Kassette heraus
- Roboter der Reinraumklasse 10
- Sehr kleiner Footprint
PDF: Produktbeschreibung LLS EVO 2
Rohde & Schwarz
Rohde & Schwarz in Teisnach
Leiterplattenprüfung:
Direkt in Leiterplatten integrierte Elemente für Hoch- und Höchstfrequenzschaltungen dringen in immer höhere Frequenzbereiche vor. Die Prüfung dieser Elemente ist ein wesentlicher Bestandteil des anspruchsvollen Herstellprozesses. Der robotergeführte Leiterplattentester kann Schaltungselemente für Frequenzen von bis zu 67 GHz automatisiert prüfen.
Merkmale:
- Kontaktiergenauigkeit < 10 µm in Relation zur Leiterplatte
- Lasergeführte Positionierung der Prüfspitzen
- Einfaches Anlernen neuer Platinen mittels grafischer Bedienerschnittstelle
- Anbindung an Fertigungsleitsystem
Evatec
Evatec Process Systems (CH)
SDS 231 Wafer Handling:
Für die flexible Cassette-to-Cassette Beschickung eines SDS 231 Sputtersystems wurde dieses Doppelroboter-Handling entwickelt. Es erlaubt die gemischte Beschickung des Sputtersystems mit 6- und 8-Zoll Wafern, die sowohl auf der Vorder- als auch auf der Rückseite beschichtet werden können. Zudem ist eine Maskierung der Wafer enthalten, die eine „Edge Exclusion“ beim Beschichten ermöglicht.
Merkmale:
- Vollautomatische Beschickung aus der Kassette heraus
- Mischbetrieb 6“ und 8“ Wafer möglich
- Maskierung der Wafer für Edge-Exclusion
- Mischbetrieb mit Frontside- und Backside Metallisierung möglich
Oerlikon Systems
Oerlikon Systems in Balzers (FL)
Racetrack Disk Handling:
Für die Beschickung einer Hochleistungs-Beschichtungsanlage für Festplatten wurde dieses roboterbasierte Cassette-to-Cassette Handling entwickelt. Es basiert auf einem leistungsfähigem Sechsachsroboter Typ Adept Viper s650 CR und verfügt über ein modulares servobasiertes Kassetten-Transportsystem.
Merkmale:
- Beschickung von 1200 Festplattensubstraten pro Stunde
- In vollautomatische Festplatten-Produktionssysteme verkettbar
- Entwickelt für den Einsatz in Reinräumen Klasse 10
- Sehr kleiner Footprint: 800 x 1200 mm²